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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

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        - 研究開発用マニュアル機 MyPL-100/200/300

       - セル生産用セミオート機 MyPL-Auto100/200/300 

        - 大型基板用セミオート機  ILP300/400/700

        - 量産インライン機 ILP500/1500

        - ドライ洗浄&ナノコーティング装置 IHP-1000

        - エッチング&アッシング装置       

 

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実装ソリューション営業部 プラズマ装置営業

電話 :03-6380-7373
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