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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

株式会社ウェル  TEL : 03-6380-7373   info@welljp.co.jp
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 卓上型大気圧プラズマ表面改質装置  MyPLシリーズ

 

マニュアルステージ搭載した簡易プラズマユニット機

各種装置へのビルドイン対応可能です

 

 卓上型

 研究開発・試作用途

 

            

      MyPL100                                     プラズマ・リアクタヘッド部 

                                                                                (ハンディ使用時) 

 

 

 

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MyPLシリーズ ラインナップ

型番

MyPL100

MyPL200

 MyPL300

供給電源

AC 100V, 50/60Hz

AC 100V, 50/60Hz

AC 100V, 50/60Hz

RF電源

~200w

~300w

~300w

周波数

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

キャリアガス

Ar

Ar

Ar

プロセスガス

O2, N2

O2, N2

O2, N2

設置環境温度(℃)

0~50

0~50

0~50

設置環境湿度(%)

0~90

0~90

0~90

冷却方式

Air

Air

Air

ステージストローク(㎜)

100(X)×250(Y)

200(X)×250(Y)

300(X)×600(Y)

プラズマエリア(㎜)

100

200

300

寸法(㎜)

620(w)×580(D)×400(H)

620(W)×700(D)×400(H)

620(W)×750(D)×400(H) 

重量(kg)

40

50

60

 

 

 【お問い合わせ先】

 

 実装ソリューション事業部 プラズマ装置営業
 電話 :03-6380-7373
     :info@welljp.co.jp