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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

株式会社ウェル  TEL : 03-6380-7373   info@welljp.co.jp
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 卓上型セミオート大気圧プラズマ表面改質装置  MyPL-Autoシリーズ     

 

自動ステージを搭載したセル生産用セミオート機

最大300x600mmサイズのワークを自動で表面改質可能です

 

 卓上型

 研究開発・試作用途

 

         

       MyPL-Auto100                                             プラズマ・リアクタヘッド部 (ハンディ使用時)  

 

MyPL-Autoシリーズ ラインナップ

型番

MyPL-Auto100

MyPL-Auto200

MyPL-Auto300

供給電源

AC 100V, 50/60Hz

AC 100V, 50/60Hz

AC 100V, 50/60Hz

RF電源

~200w 

~300w

~300w

周波数

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz

キャリアガス

Ar

Ar

Ar

プロセスガス

O2, N2

O2, N2

O2, N2

設置環境温度(℃)

0~50

0~50

0~50

設置環境湿度(%)

0~90

0~90

0~90

冷却方式

Air

Air

Air

ステージストローク

(㎜)

100(X)×250(Y)

200(X)×250(Y) 

300(X)×600(Y)

プロセス時間

~100mm/sec

(可変可能)

~100mm/sec

(可変可能) 

~100mm/sec

(可変可能)

機構方式

ボールネジアクチュ

エータ 

ボールネジアクチュ

エータ 

ボールネジアクチュ

エータ

ドライブ方式

DCサーボ・ステッピング

DCサーボ・ステッピング 

DCサーボ・ステッピング

プラズマエリア(㎜)

100

200

300

操作画面

4.7inchタッチパネル 

4.7inchタッチパネル

4.7inchタッチパネル

制御方式

PLC

PLC

PLC

寸法(㎜)

620(W)×580(D)×400(H)

620(W)×700(D)×400(H)

620(W)×750(D)×400(H) 

重量(kg)

80

90

100

 

 

 【お問い合わせ先】

 

 実装ソリューション事業部 プラズマ装置営業
 電話 :03-6380-7373
     :info@welljp.co.jp