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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

株式会社ウェル  TEL : 03-6380-7373   info@welljp.co.jp
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 セミオート大気圧プラズマ表面改質装置  ILPシリーズ  

 
最大700mm幅サイズまでのワークを処理できるセミオート機        

  

         

   ILP300/400 【スキャン方式】                  ILP700 【スキャン方式】 

 

 ILPシリーズ ラインナップ  
 型番     ILP300S ILP400S ILP700S  
 供給電源AC 220V, 50/60Hz AC 220V, 50/60HzAC 220V, 50/60Hz
 RF電源300w 600w  1kw 
 周波数13.56MHz 13.56MHz13.56MHz 
 キャリアガスAr Ar Ar  
 プロセスガスO2, N2  O2, N2  O2, N2  
 設置環境温度(℃)0~50 0~50 0~50 
 設置環境湿度(%)0~900~900~90 
 冷却方式AirAirAir
 ステージストローク(㎜)300(X)×─(Y)400(X)×─(Y)700(X)×─(Y)
 プロセス時間

~100mm/sec

(可変可能) 

~100mm/sec

(可変可能) 

~100mm/sec

(可変可能) 

 機構方式

ボールネジアクチュエータ  

ボールネジアクチュエータ  

ボールネジアクチュエータ  

 ドライブ方式DCサーボ・ステッピング DCサーボ・ステッピング DCサーボ・ステッピング 
 プラズマエリア(㎜)300 400 700 
 操作画面7.5inchタッチパネル  7.5inchタッチパネル  7.5inchタッチパネル  
 システム制御PLC PLCPLC 
 寸法(㎜)600(W)×1000(D)×800(H) 700(W)×1000(D)×800(H) 1000(W)×1000(D)×800(H)  
 重量(kg)90100  120  

    

 

 【お問い合わせ先】

 

 実装ソリューション事業部 プラズマ装置営業
 電話 :03-6380-7373
     :
info@welljp.co.jp