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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

株式会社ウェル  TEL : 03-6380-7373   info@welljp.co.jp
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 量産インライン型大気圧プラズマ表面改質装置  ILP-Inlineシリーズ    

   

インライン自動搬送システムにより最大1500x2000mmサイズのワークを自動処理可能なフルオート機 

  

       ILP500 【ベルト搬送方式】                          ILP1500 【ローラー方式】

 ILPシリーズラインナップ

型番

ILP500

ILP1500

供給電源

AC 220V, 50/60Hz

AC 220V, 50/60Hz

RF電源

600w

2kw

周波数

13.56MHz

13.56MHz

キャリアガス

Ar

Ar

プロセスガス

O2, N2

O2, N2

設置環境温度(℃)

0~50

0~50

設置環境湿度(%)

0~90

0~90

冷却方式

Air

Air

ステージストローク(㎜)

500(X)×1500(Y)

1500(X)×2000(Y)

プロセス時間

~100mm/sec

(可変可能)

~100mm/sec

(可変可能)

機構方式

ベルトコンベア方式

非接触電磁駆動方式

ドライブ方式

DCサーボ・ステッピング

DCサーボ・ステッピング

プラズマエリア(㎜) 

 500

1500

操作画面

12inchタッチパネル

12inchタッチパネル

システム制御

PLC

PLC

寸法(㎜)

700(W)×1500(D)×1100(H)

─(W)×─(D)×1500(H)

重量(kg)

120

150

   * ステージストロークY軸仕様は、ユーザ様のワーク仕様毎に対応させて頂きます。

  

 

  【お問い合わせ先】

 

  実装ソリューション事業部 プラズマ装置営業
  電話 :03-6380-7373
      :info@welljp.co.jp