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大面積エリアに高密度プラズマを発生・均一な大面積処理!               大気圧プラズマ装置

株式会社ウェル  TEL : 03-6380-7373   info@welljp.co.jp
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 プラズマ(現象)とは?

物質は温度が上昇するにつれて固体から液体さらに液体から気体へと状態が変化します。
さらに気体の温度が上昇すると気体分子は解離して原子になり、ついには原子核のまわりを回っていた
電子が原子から離れて正イオンと電子に分かれます。
この現象は電離とよばれ、この電離によって生じた荷電粒子を含む気体をプラズマとよんでいます。
 
プラズマには電子の密度や電子のエネルギーの違いによって様々な種類があり、自然界に存在している
プラズマ(現象)としては、太陽・稲妻・オーロラ・ローソクの炎などがあります。
また宇宙空間にも希薄なプラズマが広がっており、宇宙を構成する物質の99%以上がプラズマであると
いわれています。
 

 

 プラズマを利用した製品(技術)は?

プラズマの定義は物質が電離して正(イオン)と負(電子)の荷電粒子群を含み、全体として電気的に
ほぼ中性の粒子の集団(電離気体)のことをいいます。  
このような性質を有するプラズマを利用した分野には、光源・半導体プラズマプロセスなどがあり、最近
では環境保全の分野でも汚染物質をプラズマ処理する用途など幅広く利用されております。
 

 

 ウェルのプラズマ発生装置は?

 
 
弊社のプラズマ発生装置は、従来の技術では低圧
(真空)化でしか安定発生させることが出来なかった
グロー放電を、大気圧(常圧)化で安定かる大面積で
のプラズマ発生を可能にした、大気圧プラズマ発生
装置です。
この画像は、MyPL100でのプラズマ照射中のものです。
 

大気圧プラズマ装置 ラインナップ         

研究開発用マニュアル機   セル生産用セミオート機  

大型基板用セミオート機    量産用インライン機 

ドライ洗浄&ナノコーティング装置

 

           

 

 

各種プラズマのI-V特性

 

 

  

プラズマ活性ガスによるワーク表面改質効果

 

 

 

 特長


グロー放電プラズマによるダイレクト方式

低電圧制御と高速処理によるワークへのダメージレス

プラズマ処理幅のカスタマイズが容易(大型液晶基板、各種フィルムに対応)

低ランニング費用

 

 

 

【お問い合わせ先】
実装ソリューション営業部 プラズマ装置営業
電話 :03-6380-7373
    :
info@welljp.co.jp